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PBN-PG复合加热器

PBN-PG复合加热器

产品品牌:凯发陶瓷
陶瓷材质:
加工精度:纯度>99.99%
产品特性:
提供颜色:可根据需求定制
定制加工:可根据图纸及样品加工定制
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    一、产品概述
    热解氮化硼-热解石墨(PBN-PG)复合加热器是使用高绝缘性的PBN作为基材,在低压(10torr 以下)高温下,用低压热分解CVD法进行导电PG涂层的加热器。
    二、主要特点
    1、PBN、PG化学性质稳定;
    2、耐酸碱腐蚀;
    3、可以做成复杂的形状;
    4、可以急速升温至1500℃(不活性气氛中,真空下);
    5、超高纯度;
    6、释放出的气体少,可以应对超高真空。
    三、产品应用
    1、半导体基体加热(应用于MBE、MOCVD、溅射镀膜、CVC等领域);
    2、超导体基体加热。;
    3、电子显微镜样品加热;
    4、金属蒸发加热源。


    四、主要参数

    PBN

    PG

    最高温度

    2400℃

    3600℃

    张力  R.T.

    410kg/cm2

    1050kg/cm2

    2200℃

    1030kg/cm2

    1400kg/cm2

    电阻(1000℃)”a”

    3*107Ω.cm

    4*10-4Ω.cm

    ”c”

    3*109Ω.cm

    1*10-1Ω.cm

    一般加热器参数
    圆形

    图形

    尺寸
    (mm)

    电阻
    (室温)(Ω)

    电压
    (V)

    电流 (A)

    最大功率
    (W)

    平整度
    (mm)

    温度均匀性 (℃)

    圆形

    25.4

    10-16

    40

    8

    300

    1/100

    <1%

    38.1

    10-16

    70

    10

    700

    1/100

    <1%

    50.8

    15-25

    110

    15

    1300

    1/100

    <1%

    63.5

    22-35

    180

    15

    2000

    1/100

    <1%

    76.2

    22-35

    208

    20

    3000

    1/100

    <1%

    长条形

    50.8

    15-25

    110

    12

    1300

    1/100

    <1%

    76.2

    15-25

    170

    20

    3000

    1/100

    <1%

    101.6

    15-25

    208

    25

    4500

    1/100

    <1%

    圆形带耳朵

    图形

    尺寸
    (mm)

    电阻
    (室温)
    (Ω)

    电压
    (V)

    电流
    (A)

    最大功率
    (W)

    平整度
    (mm)

    温度均匀性
    (℃)

    圆形

    12.7

    5-7

    15

    8

    80

    1/100

    <1%

    19

    9-15

    30

    8

    150

    1/100

    <1%

    25.4

    9-15

    40

    10

    300

    1/100

    <1%

    44.4

    17-30

    110

    12

    1000

    1/100

    <1%

    50.8

    15-25

    110

    15

    1300

    1/100

    <1%

    条形

    25.4

    15-25

    50

    8

    300

    1/100

    <1%



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    品质保证 高水准领先同行业


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    T形凹形凹凸管

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    陶瓷板

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     陶瓷垫片

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    耐高温陶瓷圆环、绝缘垫圈。

    螺丝螺母

    螺丝螺母

    绝缘螺丝、耐腐蚀螺栓,耐热螺杆。

    08.jpg

    陶瓷球

    陶瓷球

    氧化铝、氧化锆超细研磨介质。


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