PBN-PG复合加热器
陶瓷材质:
加工精度:纯度>99.99%
产品特性:
提供颜色:可根据需求定制
定制加工:可根据图纸及样品加工定制
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一、产品概述
热解氮化硼-热解石墨(PBN-PG)复合加热器是使用高绝缘性的PBN作为基材,在低压(10torr 以下)高温下,用低压热分解CVD法进行导电PG涂层的加热器。
二、主要特点
1、PBN、PG化学性质稳定;
2、耐酸碱腐蚀;
3、可以做成复杂的形状;
4、可以急速升温至1500℃(不活性气氛中,真空下);
5、超高纯度;
6、释放出的气体少,可以应对超高真空。
三、产品应用
1、半导体基体加热(应用于MBE、MOCVD、溅射镀膜、CVC等领域);
2、超导体基体加热。;
3、电子显微镜样品加热;
4、金属蒸发加热源。
四、主要参数
|
PBN |
PG |
最高温度 |
2400℃ |
3600℃ |
张力 R.T. |
410kg/cm2 |
1050kg/cm2 |
2200℃ |
1030kg/cm2 |
1400kg/cm2 |
电阻(1000℃)”a” |
3*107Ω.cm |
4*10-4Ω.cm |
”c” |
3*109Ω.cm |
1*10-1Ω.cm |
一般加热器参数
圆形
图形 |
尺寸 |
电阻 |
电压 |
电流 (A) |
最大功率 |
平整度 |
温度均匀性 (℃) |
圆形
|
25.4 |
10-16 |
40 |
8 |
300 |
1/100 |
<1% |
38.1 |
10-16 |
70 |
10 |
700 |
1/100 |
<1% |
|
50.8 |
15-25 |
110 |
15 |
1300 |
1/100 |
<1% |
|
63.5 |
22-35 |
180 |
15 |
2000 |
1/100 |
<1% |
|
76.2 |
22-35 |
208 |
20 |
3000 |
1/100 |
<1% |
|
长条形 |
50.8 |
15-25 |
110 |
12 |
1300 |
1/100 |
<1% |
76.2 |
15-25 |
170 |
20 |
3000 |
1/100 |
<1% |
|
101.6 |
15-25 |
208 |
25 |
4500 |
1/100 |
<1% |
圆形带耳朵
图形 |
尺寸 |
电阻 |
电压 |
电流 |
最大功率 |
平整度 |
温度均匀性 |
圆形 |
12.7 |
5-7 |
15 |
8 |
80 |
1/100 |
<1% |
19 |
9-15 |
30 |
8 |
150 |
1/100 |
<1% |
|
25.4 |
9-15 |
40 |
10 |
300 |
1/100 |
<1% |
|
44.4 |
17-30 |
110 |
12 |
1000 |
1/100 |
<1% |
|
50.8 |
15-25 |
110 |
15 |
1300 |
1/100 |
<1% |
|
条形 |
25.4 |
15-25 |
50 |
8 |
300 |
1/100 |
<1% |
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品质保证 高水准领先同行业
陶瓷管 热电偶保护管 高温合金冶炼管 |
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陶瓷棒 陶瓷轴套 绝缘 耐火棒陶瓷轴 |
陶瓷坩埚 高品质、耐高温金属冶炼坩埚。 |
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T形凹形凹凸管 高温绝缘子瓷嘴 瓷套 瓷眼 瓷珠 |
陶瓷板 氧化铝板、陶瓷板、承受烧板、绝缘板。 |
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陶瓷垫片 耐高温陶瓷圆环、绝缘垫圈。 |
螺丝螺母 绝缘螺丝、耐腐蚀螺栓,耐热螺杆。 |
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陶瓷球 氧化铝、氧化锆超细研磨介质。 |